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홈 제품소개 세정장비 및 공급장치 세정장비

세정장비

세정장비 및 공급장치

WET station

Spin Etcher

CDU, CRU

세정장비

 

 

BLAST-500


공장 내 HF 배관 세정 장비 


  

   Specification

 Dimension

W : 1800 D : 1610 H : 1800 

 무게

600kg

 GAS

 CDA, N2

 Tank

 800(W) X 600(D) X 1100(H), RFP, 500L

 PUMP

 Bellows Pump 1set, 200L/min







 

BLOB-200

Carrier & Box 세정 장비


 

   Specification

 Dimension

W : 2100 D : 2000 H : 2700 

 무게

2000kg

 GAS

 CDA, N2, Washer

 Cage

 Max 150rpm

 Hot Air

 120~150℃







 

Tube Cleaner Furnace


Tube 세정장비

 

  Specification

 Dimension

W : 1800 D : 1610 H : 1800 

 무게

600kg

 GAS

 CDA, N2

 Tank

 800(W) X 600(D) X 1100(H), RFP, 500L

 PUMP

 벨로우즈펌프 1set, 200L/min